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SBIR 8吋晶圓WCVD設備改造專案

2019-05-31

SBIR 8吋晶圓WCVD設備改造專案

升級就趁現在

此款8吋晶圓機台改造計畫,它的改造理念是將老舊機台賦予新生命,晶圓生產校準中心是一件不起眼的重要大事,晶圓偏心是老式機台設計上重大的缺陷,因此從現在起、重新賦予它嶄新的自動校準中心功能,藉由每次旋轉動作即可校準晶圓中心,此功能在12吋已經得到強大的有效使用保證,因此同時,也獲得經濟部SBIR小型創新研究補助,並且成功開發出2項專利設計,使用起來可以有開新車的感覺,不須擔心7天之後收到改善通知。